Plasma diagnostics during thin film depositions = Diagnostika plazmatu při depozicích tenkých vrstev : short version of Ph.D. Thesis /

Hlavní autor: Rašková, Zuzana
Korporativní autor: Vysoké učení technické v Brně. Ústav fyzikální a spotřební chemie
Jazyk: Angličtina
Vydáno: [V Brně : Vysoké učení technické], c2006
Edice: Vědecké spisy Vysokého učení technického v Brně. PhD Thesis, sv. 387
Témata:
Fyzický popis: 20 s. : il. ; 21 cm
Language note: České resumé
Knihy
Uloženo v:
LEADER 02493nam a2200625 a 4500
001 nkc20061688329
003 CZ PrNK
005 20061201105726.0
007 ta
008 060906s2006 xr a f m 000 0 eng
015 |a cnb001688329 
020 |a 80-214-3233-0  |q (brož.) 
035 |a (OCoLC)85712353 
040 |a OLA001  |b cze  |d ABA001 
041 0 |a eng  |b cze 
072 7 |a 544  |x Fyzikální chemie  |2 Konspekt  |9 10 
080 |a 544.55  |2 MRF 
080 |a 539.216  |2 MRF 
080 |a 547.1'128:546.281  |2 MRF 
080 |a 54-126  |2 MRF 
080 |a 543.42  |2 MRF 
080 |a (043.3)  |2 MRF 
080 |a (048.3)  |2 MRF 
100 1 |a Rašková, Zuzana  |7 mzk2006355900  |4 aut 
245 1 0 |a Plasma diagnostics during thin film depositions =  |b Diagnostika plazmatu při depozicích tenkých vrstev : short version of Ph.D. Thesis /  |c Zuzana Rašková 
246 3 1 |a Diagnostika plazmatu při depozicích tenkých vrstev 
260 |a [V Brně :  |b Vysoké učení technické],  |c c2006 
300 |a 20 s. :  |b il. ;  |c 21 cm 
490 1 |a Vědecké spisy Vysokého učení technického v Brně. PhD Thesis,  |x 1213-4198 ;  |v sv. 387 
500 |a Zkrácená verze disertace (Ph.D.)--Brno University of Technology, Faculty of Chemistry, Institute of Physical and Applied Chemistry, 2006 
500 |a "Study field: Physical chemistry"--Tit. s. 
504 |a Obsahuje bibliografii 
546 |a České resumé 
650 0 7 |a chemie plazmatu  |7 ph138180  |2 czenas 
650 0 7 |a tenké vrstvy  |7 ph126536  |2 czenas 
650 0 7 |a silany  |7 ph123805  |2 czenas 
650 0 7 |a polymerizace  |7 ph115812  |2 czenas 
650 0 7 |a spektroskopie  |7 ph116234  |2 czenas 
650 0 9 |a plasma chemistry  |2 eczenas 
650 0 9 |a thin films  |2 eczenas 
650 0 9 |a organosilanes  |2 eczenas 
650 0 9 |a polymerization  |2 eczenas 
650 0 9 |a spectroscopy  |2 eczenas 
655 7 |a disertace  |7 fd132024  |2 czenas 
655 7 |a teze  |7 fd133701  |2 czenas 
655 9 |a dissertations  |2 eczenas 
655 9 |a abstracts  |2 eczenas 
710 2 |a Vysoké učení technické v Brně.  |b Ústav fyzikální a spotřební chemie  |7 kn20030320005 
810 2 |a Vysoké učení technické v Brně.  |t Vědecké spisy.  |p PhD Thesis  |0 s 
910 2 |a BOA001  |b 2-1174.821 
990 |a BK 
995 |a 01 
991 |b 200610  |c NOV 
996 6 |b 2610290783  |c 2-1174.821  |l MZK  |r Sklad / do 1 hodiny  |n 0  |p p.v.  |w 000826539  |u 000010  |a 1  |e BOA001  |j MZK50  |s P 
996 7 |b 2610290784  |c 2-1174.821  |l MZK  |r Sklad / do 1 hodiny  |n 3  |p p.v.  |w 000826539  |u 000020  |a 1  |e BOA001  |j MZK50  |s A